iBt-UV4KT 4K TDI UVカメラ | 4096×256 250kHz

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Q1. What is the resolution of the iBt-UV16KT?
It provides 16384 × 256 resolution, making it a 16K-class UV TDI line scan camera.

Q2. Is the iBt-UV16KT suitable for wafer inspection?
Yes. It is specifically suited for wafer defect detection, semiconductor inspection, surface inspection, and particle detection.

Q3. What does 256-TDI provide?
The 256-TDI architecture accumulates signals across multiple sensor stages, improving sensitivity for detecting weak or subtle optical features.

Q4. What is the pixel size?
The camera uses 5 μm pixels, supporting high-resolution imaging of wafer surfaces and semiconductor features.

Q5. What is the maximum line rate?
The camera supports a line rate of up to 280 kHz.

Q6. What interface does the camera use?
It uses a CXP12 interface for high-speed, high-bandwidth image transmission.

Q7. What lens mount does the camera support?
The iBt-UV16KT uses an M95 mount, suitable for large-format optical systems.