Die koaxiale Beleuchtung nutzt hellleuchtendes Licht, um in Anwendungen wie der Prüfung von Kratzern auf stark reflektiven Oberflächen, Defekten auf Chips und Siliziumwafern, Markierungspunktpositionen, der Erkennung von Laserzeichen und der Strichcoderkennung hervorragende Ergebnisse zu erzielen.